首页 > 行业资讯 >> 化工新质料 >> 2023年中国抛光液行业市场生长与未来展望
文章泉源:AG8亚洲国际游戏集团咨询整理 作者:AG8亚洲国际游戏集团咨询整理 阅读量:728 宣布时间:2023-06-10
抛光液又称化学机械研磨液,,,由纳米级研磨颗粒和高纯化学品组成,,,是化学机械抛光工艺历程中使用的主要化学质料。。。。。
抛光液在CMP手艺中至关主要,,,在抛光质料中价值占比约50%,,,其耗用量随着晶圆产量和CMP平展化工艺办法数增添而增添。。。。。
凭证应用的差别工艺环节,,,可以将抛光液分为硅/多晶硅抛光液,,,浅槽隔离(STI)抛光液,,,金属栅极抛光液,,,介电质料(二氧化硅、氮化硅)抛光液,,,钨抛光液,,,铜及铜阻挡层抛光液,,,以及用于三维集成的硅通孔(TSV)和混淆键合抛光液等。。。。。
抛光液特点为种类繁多,,,纵然是统一手艺节点凭证差别客户的工艺手艺要求也有差别配方,,,其主要质料包括纳米磨料、种种添加剂和超纯水。。。。。其中,,,纳米磨料是决议抛光液性能的要害质料,,,主要包括硅溶胶和氧化铈等品类,,,约占抛光液价值的三分之一。。。。。
得益于整个半导体行业及半导体质料的迅速增添,,,全球抛光液市场泛起快速增添态势。。。。。2021年全球抛光液市场规模18.9亿美元,,,同比增添13%,,,其中铜抛光液、钨抛光液和氧化物抛光液的市场规模占比最大,,,而钴抛光液和多晶硅抛光液则成为增添最快的抛光液品类。。。。。
近年中国抛光液市场增速显著高于全球市场,,,2025年海内抛光液市场有望占全球市场的25%,,,达40亿元,,,2022-2025年中国抛光液复合增添率达15%。。。。。
内容节选自AG8亚洲国际游戏集团宣布的《中国抛光液行业市场调研与投资战略报告(2023版)》,,,若有需求,,,联系AG8亚洲国际游戏集团010-67280121